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发明名称 METHOD OF DETACHING A THIN FILM AT MODERATE TEMPERATURE AFTER CO-IMPLANTATION
摘要
申请公布号 KR101122859(B1) 申请公布日期 2012.03.21
申请号 KR20057008067 申请日期 2003.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/762 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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