一种微机械电容式双向开关

摘要

一种微机械电容式双向开关，包括一个上电极和两个下电极，长横梁和短竖梁交叉形成“十”字型上电极，通过柱子和弹簧与两个下电极保持悬空，弹簧一端与上电极相连，另一端与焊盘相连，弹簧除了有柔性支撑的作用外，还有信号传输的作用。两个下电极保持绝缘。长横梁与两个下电极形成两个电容。一个电容在电压的驱动之下，使上下两个电极接触，形成短路，相当于一个开关闭合，另一个开关断开，这样可以实现一开一闭。另一个电容在电压的驱动之下，也可以闭合，同时也可以实现两闭的效果。本发明结构简单，适应性强，只需要低电压即可驱动实现双向开关功能，制作工艺简单，图形化操作实现了复杂的弹簧结构，且易于封装，成本低。

主权项

一种微机械电容式双向开关，包括一个上电极和两个下电极，其特征在于：所述上电极采用“十”字型电极，该上电极通过柱子和弹簧与两个下电极保持悬空，弹簧一端与上电极相连，另一端与焊盘相连，弹簧除了有柔性支撑的作用外，还有信号传输的作用；两个下电极保持绝缘；所述上电极的长横梁与两个下电极形成两个电容。