双向流动式逆止阀及超纯水系统

摘要

本发明提供一种双向流动式逆止阀及超纯水系统。超纯水系统包括至少一泵、至少一贮水槽、至少一管路以及至少一双向流动式逆止阀，其中泵用以提供动力以使超纯水流动，而贮水槽用以贮存超纯水，且泵通过管路分别与贮水槽相连接。双向流动式逆止阀包括一本体以及至少一阀门，本体枢设于管路中，且具有至少一支撑部，阀门具有一第一末端、一第二末端以及至少一个回流孔，其中回流孔位于第一末端及第二末端之间，而阀门的第一末端枢设于本体，且第二末端适于承靠在支撑部，而通过回流孔以在管路中形成往一第一方向流动的超纯水及往一第二方向流动的超纯水。

主权项

一种双向流动式逆止阀，适于装设在一管路中，其特征在于，该双向流动式逆止阀包括：一本体，具有至少一支撑部；以及至少一阀门，每一阀门具有一第一末端、一第二末端以及至少一回流孔，其中该回流孔位于该第一末端及该第二末端之间，而该阀门的该第一末端枢设于该本体，而该第二末端适于承靠于该支撑部。