| 发明名称 | 用于光电转换模块的前驱体及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明描述了用于光电转换模块的前驱体及其制造方法。该方法包括在透明的衬底上沉积TCO层、沉积第一导电类型层，其中沉积第一导电类型层的步骤包括通过化学气相沉积工艺提供含SiOX的第一防反射层。该方法还包括沉积第一本征型层以及沉积具有与第一导电类型层相反的导电类型的另一导电类型层。 | ||
| 申请公布号 | CN102386275A | 申请公布日期 | 2012.03.21 |
| 申请号 | CN201110264952.0 | 申请日期 | 2011.09.05 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 斯特凡·克莱恩;科拉德·施沃恩特兹;杜比亚斯·斯托利 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种制造用于光电转换模块的层堆叠的方法，所述方法包括以下步骤：在透明的衬底上沉积TCO层；沉积第一导电类型层，该沉积步骤包括：通过化学气相沉积工艺提供含SiOX的第一防反射层；沉积第一本征型层；以及沉积具有与所述第一导电类型层相反的导电类型的另一导电类型层； | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||