多频调整的处理方法

摘要

提供了操作具有设有接收气体的空间和在该空间可操作地产生电磁场的电磁场产生部分的处理系统的方法。该方法包括提供气体至该空间并用驱动信号操作该电磁场产生部分以在该空间产生电磁场以将至少部分气体转为等离子体。作为时间函数的驱动电势基于第一电势函数部分和第二电势函数部分。第一电势函数部分包括有第一幅度和第一频率的第一连续周期部分。第二电势函数部分包括有最大幅度部分、最小幅度部分和占空比的第二周期部分。最大幅度部分幅度高于最小幅度部分。占空比是最大幅度部分持续时间同最大幅度部分持续时间和最小幅度部分持续时间总和之比。第二周期部分在最大幅度部分中还有第二频率。第二周期部分的幅度调整与第一连续周期部分同相。

主权项

操作具有接收气体的空间、电极部分和RF驱动器的处理系统的方法，所述RF驱动器可操作地提供驱动信号到所述电极部分，所述方法包括：提供气体进入所述空间；提供所述驱动信号到所述电极部分，所述驱动信号以第一信号部分和第二信号部分为基础；和在所述空间从所述气体产生等离子体，其中所述等离子体有等离子体鞘，其中所述等离子体鞘有等离子体鞘电势，其中所述等离子体鞘电势以所述驱动信号为基础，其中作为时间的函数的等离子体鞘电势以第一等离子体鞘电势函数部分和第二等离子体鞘电势函数部分为基础，其中所述第一等离子体鞘电势函数部分包括具有第一幅度和第一频率的连续正弦部分，其中所述第二等离子体鞘电势函数部分包括具有最大幅度间隔、最小幅度间隔和占空比的正弦部分，其中所述最大幅度间隔有第二频率、第一持续时间和第一间隔幅度，其中所述最小幅度间隔有第二持续时间和第二间隔幅度，其中所述第一间隔幅度大于所述第二间隔幅度，其中所述占空比是所述第一持续时间同所述第一持续时间和所述第二持续时间总和之比，且其中所述第二等离子体鞘电势函数部分以等于所述第一频率谐波的频率调整幅度。