薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置及测试方法

摘要

本发明涉及一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置及利用该装置的测试方法。由于现有测试装置和测试方法存在较大的误差、对各种薄膜材料适应性差。本发明的一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置，包括测试组件和处理组件，测试组件包括Nd:YAG激光器、开关档板，第一分束器、聚焦透镜、第二分束器和样片台，光电二极管阵列、会聚透镜、光电探测器件和CCD照相机等，处理组件包括计算机；测试方法包括将测试结果送采用CCD摄像显微判别法等离子体闪光法来判别不同类型薄膜样品是否发生损伤，判别标准是一项显示损伤即确定。本发明的此种结构和测试方法，使得测试误差极小且无误判发生，并且适应性和实用性强。

主权项

一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置，包括测试组件和处理组件，其中测试组件包括设置于一条主光轴上的Nd:YAG激光器（1）、开关档板（2），衰减器（3），第一分束器（4）、聚焦透镜（5）、第二分束器（6）和样片台（9），还包括光束分析仪（13）和能量计（14），光束分析仪（13）位于分束器（6）的反射光路上，能量计（14）位于分束器（4）的反射光路上，其特征在于：测试组件中还包括辅助激光器（7）、光电二极管阵列（8）、会聚透镜（10）、光电探测器件（11）和CCD照相机（12），其中辅助激光器（7）偏离主光轴设置，其发射光束朝向样片台（9），所述CCD照相机（12）设置于辅助激光器（7）反射光束与主光轴之间的区域，所述光电二极管阵列（8）位于样片表面法线30～60度的锥角内，所述会聚透镜（10）和光电探测器件（11）依次位于辅助激光器（7）的反射光束上，会聚透镜（10）的中部区域镀制吸光膜，吸光膜覆盖区域应大于辅助激光器输出光斑直径的2倍～5倍，处理组件包括计算机（15）。