晶体硅太阳能电池用洗磷溶液及其制造、使用方法

摘要

本发明涉及一种晶体硅太阳能电池用洗磷溶液，主要由氢氟酸(HF)以及去离子水组成，所述氢氟酸(HF)中添加表面活性剂，且该三种组分重量配比是：氢氟酸(HF)7％-15％，表面活性剂5-100ppm，去离子水85％-95％；上述洗磷溶液的制造方法是：先将去离子水加入容器中，缓慢加入氢氟酸(HF)和表面活性剂，搅拌5-10min，使其完全溶解；上述洗磷溶液的使用方法是：将表面残留有杂质的硅片浸入所述的洗磷溶液中，温度为常温，时间为1-3分钟，然后用盐酸清洗后再用去离子水清洗。本发明所公开的洗磷溶液，能有效处理扩散后硅片表面的磷硅玻璃(PSG)及杂质，使得硅片表面更为清洁，明显提高太阳能电池的电性能。

主权项

一种晶体硅太阳能电池用洗磷溶液，主要由氢氟酸以及去离子水组成，其特征在于，所述氢氟酸中添加表面活性剂，且该三种组分重量配比是：氢氟酸7％‑15％，表面活性剂5‑100ppm，去离子水85％‑95％。