具有提升取光效率的Ⅲ族氮化物基发光装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种提升Ⅲ族氮化物基发光装置的取光效率的方法。通过粗化n型Ⅲ族氮化物基披覆层或未掺杂的Ⅲ族氮化物基层，以形成反射层。由于粗化表面上的间隙致使全内反射的发生，光束可反射至发光装置的上表面，如此可增加取光效率，并在所需方向来收集更多光束。

主权项

一种提升Ⅲ族氮化物基发光装置的取光效率的方法，包括以下步骤：a)提供基板；b)在基板上形成未掺杂的Ⅲ族氮化物基层；c)粗化未掺杂的Ⅲ族氮化物基层；d)在未掺杂的Ⅲ族氮化物基层上依序生成n型Ⅲ族氮化物基披覆层、活性区、p型Ⅲ族氮化物基披覆层；以及e)分别在p型Ⅲ族氮化物基披覆层和n型Ⅲ族氮化物基披覆层上提供p接点和n接点；其特征在于，多个间隙(gap)形成于未掺杂的Ⅲ族氮化物基层与n型Ⅲ族氮化物基披覆层之间。