主权项 |
1.一种电阻的器件失配的修正方法,其特征是:首先,确定电阻的工艺失配参数为4个,分别为方块电阻、终端电阻、电阻宽度的偏移量、电阻值;其次,设定方块电阻的随机偏差<img file="FDA0000025596510000011.GIF" wi="114" he="56" /><img file="FDA0000025596510000012.GIF" wi="563" he="116" />设定终端电阻的随机偏差<img file="FDA0000025596510000013.GIF" wi="156" he="56" /><img file="FDA0000025596510000014.GIF" wi="647" he="116" />设定电阻宽度的偏移量的随机偏差<img file="FDA0000025596510000015.GIF" wi="106" he="56" /><img file="FDA0000025596510000016.GIF" wi="484" he="116" />设定电阻值的随机偏差<img file="FDA0000025596510000017.GIF" wi="193" he="56" /><maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>σ</mi><mi>ΔR</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><msubsup><mi>σ</mi><mi>ΔRS</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>×</mo><mfrac><msup><mi>L</mi><mn>2</mn></msup><msup><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mfrac><mo>+</mo><msubsup><mi>σ</mi><mi>ΔREND</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>×</mo><mfrac><mn>1</mn><msup><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mfrac><mo>+</mo><msubsup><mi>σ</mi><mi>ΔW</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>×</mo><msup><mrow><mo>[</mo><mfrac><mrow><mi>L</mi><mo>×</mo><mi>RS</mi></mrow><msup><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><mi>REND</mi><msup><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mfrac><mo>]</mo></mrow><mn>2</mn></msup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>其中W为电阻宽度、L为电阻长度、D为电阻之间的间距、RS为方块电阻、REND为终端电阻、ΔW为电阻宽度的偏移量,S<sub>ΔRS</sub>、T<sub>ΔRS</sub>、S<sub>ΔREND</sub>、T<sub>ΔREND</sub>、S<sub>ΔW</sub>、T<sub>ΔW</sub>为随机偏差修正因子;再次,对电阻的器件失配进行修正,具体包括:<maths num="0002"><![CDATA[<math><mrow><mi>R</mi><mo>=</mo><mi>R</mi><mo>_</mo><mi>original</mi><mo>×</mo><mo>[</mo><mn>1</mn><mo>+</mo><mfrac><mi>L</mi><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow></mfrac><mo>×</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mi>ΔRS</mi></msub><msqrt><mi>W</mi><mo>×</mo><mi>L</mi></msqrt></mfrac><mo>×</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mfrac><mn>1</mn><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow></mfrac><mfrac><msub><mi>S</mi><mi>ΔREND</mi></msub><msqrt><mi>W</mi><mo>×</mo><mi>L</mi></msqrt></mfrac><mo>×</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow></mrow></math>]]></maths><maths num="0003"><![CDATA[<math><mrow><mo>+</mo><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><mi>L</mi><mo>×</mo><mi>RS</mi></mrow><msup><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><mi>REND</mi><msup><mrow><mo>(</mo><mi>W</mi><mo>+</mo><mi>ΔW</mi><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>×</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mi>ΔW</mi></msub><msqrt><mi>L</mi></msqrt></mfrac><mo>×</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>D</mi><mo>×</mo><msub><mi>T</mi><mi>ΔALL</mi></msub><mo>×</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>]</mo></mrow></math>]]></maths>其中R为修正后的电阻值,R_original为原始的电阻值,T<sub>ΔALL</sub>为随机偏差修正因子;所述agauss(0,1,3)表示期望值为1、标准差为1/3的正态分布取值范围内的随机数。 |