热式流量传感器

摘要

本发明的目的是提供一种热式空气流量传感器，该传感器难以受测定对象即空气流动的影响，能够防止因温度变动、压力变动所引起的流量孔板的损坏。本发明的热式流量传感器将形成在检测元件(50)上的空穴部(200)与收纳检测元件(50)的驱动回路部件(401)的回路室(400)或吸气通道的外部(700)连通。由此，空穴部(200)的压力与外部压力达到平衡。而且，由于将回路室(400)从配置检测元件(50)的检测部的检测室(测定对象即空气所流动的通路室(300))隔离，因此在通路室(300)中流动的空气向空穴部(200)的内侧流入，从而能够抑制对流量输出特性的影响。

主权项

一种热式空气流量传感器，在检测空气流量的检测元件的局部具有空穴部，其特征在于，以使空穴部不直接与位于该空穴部的反面的检测室连通的方式在传感器结构部件上固定粘结检测元件，且设有使空穴部与回路室或吸气通道外部连通的连通通路，该回路室安装检测元件的驱动回路。