基板输送系统

摘要

本发明提供一种基板输送系统，其包括第一传送装置、第二传送装置与转移装置。该第一传送装置包括多个间隔分布的第一传送单元，该第二传送装置包括多个间隔分布的第二传送单元。相邻两个第一传送单元之间形成第一通道，相邻两个第二传送单元之间形成第二通道。该转移装置包括升降装置及多根固定于升降装置的承载件。所述升降装置相对第一通道与第二通道相对滑动设置，使承载件可沿第一通道与第二通道运动。该基板输送系统方便转换基板传送方向，传送效率高。

主权项

一种基板输送系统，其包括第一传送装置与第二传送装置，所述第一传送装置包括多个间隔分布的第一传送单元，用于将所述基板沿第一传送方向输送，所述第二传送装置包括多个间隔分布的第二传送单元，用于将所述基板沿第二传送方向输送，相邻两个第一传送单元之间形成第一通道，相邻两个第二传送单元之间形成第二通道，其特征在于，所述第一传送方向平行于第二传送方向，所述基板输送系统还包括转移装置，所述转移装置包括升降装置及多根固定于所述升降装置的承载件，所述升降装置相对于第一通道与第二通道滑动设置，使得所述承载件可沿相应的第一通道与第二通道运动，所述升降装置用于当所述承载件位于第一通道内预定位置时升起所述承载件以举起在所述第一传送装置上输送的基板，及用于当所述承载件位于第二通道内预定位置时降下所述承载件以将承载件上的基板转移至第二传送装置上，所述第一传送装置包括两个相互平行的第一支撑板，用于架设第一传送单元，所述第一支撑板设有第一凹槽，所述第一凹槽与第一通道相连通，以供承载件穿过。