大气压微尺度低温等离子体射流发生装置

摘要

一种大气压微尺度低温等离子体射流发生装置，属于低温等离子体技术领域。其特征是等离子体射流在石英玻璃管内产生，激励电场由安放在石英玻璃管外侧相对位置的平板形金属电极建立，在平板形金属电极的上、下表面上分别放置石英玻璃板，其外侧正对着石英玻璃管的位置附近分别放置紫外光源，平板形金属电极由具有脉冲调制功能的射频电源经过网络匹配器驱动，另一个平板形金属电极接地。本发明的效果和益处是在常压条件下获得了没有等离子体污染的物理尺寸能按比例改变的微尺度等离子体射流，而且通过调整脉冲占空比控制等离子体的气体温度，在生物医疗的杀菌消毒和高精密的微纳机械加工等诸多相关领域得到应用。

主权项

一种大气压微尺度低温等离子体射流发生装置，由具有脉冲调制功能的射频电源(6)，网络匹配器(7)，等离子体放电部件构成，其特征在于：等离子体射流在石英玻璃管(1)内产生，石英玻璃管内的激励电场由安放在石英玻璃管两侧相对着的位置的平板形金属电极(2)和(3)建立，在平板形金属电极的上表面和下表面上分别放置石英玻璃板(5)和石英玻璃板(4)来固定整个平板形金属电极(2)和(3)以及石英玻璃管(1)，在石英玻璃板(4)和(5)的外侧正对着石英玻璃管(1)的位置附近分别放置紫外光源(8)和紫外光源(9)使得发射的紫外光透过石英玻璃板(4)或(5)以及石英玻璃管(1)的管壁照射在石英玻璃管(1)内流过的工作气体，这样构成所述等离子体放电部件；平板形金属电极(2)接地，平板形金属电极(3)由具有脉冲调制功能的射频电源(6)经过网络匹配器(7)驱动；在石英玻璃管(1)的射流输出端按实际要求安装相应尺寸的射流整形喷嘴。