基板沉积方法和有机材料沉积装置

摘要

本发明涉及用于沉积有机材料的装置和方法，更具体地，涉及这样一种用于沉积有机材料的装置和方法：其设计成在沉积有机材料的过程中阻止传输到装置的腔内的大尺寸基板的下垂。该装置包括：腔，其具有与外部隔离的内部空间，入口设置在所述腔的一侧以允许基板输入腔内或从腔内传输出，且门用于打开或关闭所述入口；基板安装台板，其设置在所述腔的上部，通过用压力来固定住传输到所述腔内的基板的两端、并且使两端处于固定状态的基板一侧朝外移动而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；旋转提升器，其耦连到所述基板安装台板上表面的中心处，用于旋转、提升或降低所述基板安装台板；以及加热器和有机材料蒸发皿，其设置在所述腔的下部，用于将有机材料蒸发到所述基板上。

主权项

一种用于沉积有机材料的装置，包括：腔，其具有与外部隔离的内部空间、设置在所述腔的一侧以允许基板输入腔内或从腔内传输出的入口、以及用于打开或关闭所述入口的门；基板安装台板，其设置在所述腔的上部，通过用压力来固定住传输到所述腔内的基板的两端、并且使两端处于固定状态的基板一侧朝外移动而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；旋转提升器，其耦连到所述基板安装台板上表面的中心处，用于旋转、提升或降低所述基板安装台板；以及加热器和有机材料蒸发皿，其设置在所述腔的下部，用于将有机材料蒸发到所述基板上，其中，所述基板安装台板包括：基板搁置保持装置，允许所述基板搁置保持装置的一侧与另一侧分离，所述基板搁置保持装置具有在中心处穿孔的板的形状，从而，所述基板的四侧能够搁置在形成于所述基板搁置保持装置中的穿孔部上；压紧保持装置，其设置在所述基板搁置保持装置上而上升或下降，当被下降时，所述压紧保持装置压紧基板的上表面的两侧，并且允许所述压紧保持装置的一侧与所述压紧保持装置的另一侧分离并且与所述基板搁置保持装置的一侧共线定位，所述压紧保持装置具有在中心处穿孔的板的形状；第一驱动构件，其向下设置在所述压紧保持装置上表面的任一侧上，用于根据空气的供应或排放而压紧或松开所述基板上表面的相关侧；以及第二驱动构件，其垂直于所述第一驱动构件设置并且固定到压紧保持装置的一侧，用于根据空气的供应或排放而线性地往复移动所述基板搁置保持装置和压紧保持装置，所述基板搁置保持装置和压紧保持装置中的每一个都处于一侧与另一侧分离的状态，从而两端由所述压紧保持装置固定的基板的一侧通过向外移动所述固定保持装置和所述压紧保持装置而受到拉伸，由此阻止所述基板下垂。