发明名称 СПОСОБ СОЗДАНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ К КРЕМНИЮ
摘要
申请公布号 RU1709864(C) 申请公布日期 2012.03.20
申请号 SU19904789079 申请日期 1990.02.08
申请人 Минский радиотехнический институт 发明人 Снитовский Ю.П.;Сенько С.Ф.;Воробьев О.А.;Баранов И.Л.
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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