| 摘要 |
Чувствительный элемент газового сенсора, включающий подложку с размещенными на подложке электродами, нанесенную на одну из сторон подложки металлооксидную газочувствительную пленку, содержащую модификаторы и контактные площадки, причем на другой стороне подложки нанесен металлический пленочный нагреватель, отличающийся тем, что металлический пленочный нагреватель снабжен дополнительными контактными площадками, при этом металлический пленочный нагреватель и контактные площадки изготовлены из платиновой пасты с добавлением стеклянного порошка, электроды выполнены из платиновой проволоки, сенсорный чип выполнен размерами 1,5×0,5×0,3 мм, металлооксидная газочувствительная пленка изготовлена из нанокристаллического SnO2 с размером кристаллитов 90-110 нм, а в качестве модификаторов использованы палладий и платина при следующем соотношении компонентов, мас.%: ! Палладий 2,5-3,5 Платина 0,5-1,5 |
