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发明名称
СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВЕЛИЧИНЫ ЛОКАЛЬНЫХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ НА ГРАНИЦЕ РАЗДЕЛА Si - SiO2
摘要
申请公布号
RU1662298(C)
申请公布日期
2012.03.20
申请号
SU19894729628
申请日期
1989.08.16
申请人
Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР
发明人
Сенько С.Ф.;Зеленин В.А.;Снитовский Ю.П.
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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