发明名称 СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
摘要
申请公布号 RU1597019(C) 申请公布日期 2012.03.20
申请号 SU19894655025 申请日期 1989.02.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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