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经营范围
发明名称
СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
摘要
申请公布号
RU1597019(C)
申请公布日期
2012.03.20
申请号
SU19894655025
申请日期
1989.02.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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