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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR101117019(B1) 申请公布日期 2012.03.19
申请号 KR20100077831 申请日期 2010.08.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/027 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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