发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE
摘要
申请公布号 FR2957339(B1) 申请公布日期 2012.03.16
申请号 FR20100051715 申请日期 2010.03.10
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 GAILLARD FREDERIC-XAVIER;NEMOUCHI FABRICE
分类号 B81C1/00;B81B5/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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