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发明名称 THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
摘要
申请公布号 KR101118195(B1) 申请公布日期 2012.03.16
申请号 KR20090112047 申请日期 2009.11.19
申请人 发明人
分类号 G01B11/25;G01N21/88;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G01B11/25
代理机构 代理人
主权项
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