发明名称 Apparatus and Method for plasma surface treatment
摘要
申请公布号 KR101123866(B1) 申请公布日期 2012.03.16
申请号 KR20090049808 申请日期 2009.06.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/02;C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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