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发明名称 Method for fabricating high speed semiconductor device
摘要
申请公布号 KR101124565(B1) 申请公布日期 2012.03.16
申请号 KR20090134669 申请日期 2009.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/265 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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