发明名称 Cooling member for vacuum chamber
摘要
申请公布号 KR101123862(B1) 申请公布日期 2012.03.16
申请号 KR20100075342 申请日期 2010.08.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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