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发明名称 Abrasive particulate material, and method of planarizing a workpiece using the abrasive particulate material
摘要
申请公布号 KR101120417(B1) 申请公布日期 2012.03.16
申请号 KR20087011372 申请日期 2006.10.13
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;C01F7/02;C09G1/02 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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