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发明名称 Polishing pad with high optical transmission window
摘要
申请公布号 KR101120647(B1) 申请公布日期 2012.03.16
申请号 KR20040097316 申请日期 2004.11.25
申请人 发明人
分类号 B24B37/00;B24D3/20;B24B37/04;B24D13/14;H01L21/304 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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