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Halbleiterbauelement mit – einer leitfähigen Struktur (11) mit einem ersten Teil (11a), zweiten Teilen (11b) und dritten Teilen (11c), wobei die zweiten Teile auf dem ersten Teil angeordnet sind und sich in einer ersten Richtung durchgehend erstrecken und in einer zweiten Richtung, die nicht-parallel zur ersten Richtung ist, voneinander beabstandet sind und die dritten Teile auf den zweiten Teilen angeordnet sind und in der ersten und der zweiten Richtung voneinander beabstandet sind, – ersten isolierenden Schichten (21) an Seitenwänden der zweiten Teile und – ersten leitfähigen Schichtstrukturen (12) auf den ersten isolierenden Schichten.
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