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发明名称 SPEKTROSKOPIESYSTEM FÜR ZEITAUFGELÖSTE SPEKTROSKOPIE UND SEINE VERWENDUNG
摘要
申请公布号 AT548760(T) 申请公布日期 2012.03.15
申请号 AT20060254250T 申请日期 2006.08.14
申请人 E2V TECHNOLOGIES (UK) LIMITED 发明人 ROBBINS, MARK STANFORD;BELL, RAYMOND THOMAS
分类号 H01L27/148;H01L29/768 主分类号 H01L27/148
代理机构 代理人
主权项
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