| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Sägen eines Werkstücks (10), insbesondere eines Siliziumwerkstücks, bei dem ein Sägewerkzeug (12) entlang des Werkstücks (10) verlagert wird, wobei das Sägewerkzeug (12) bei dem Verlagern mit Abrasivkörnern (14) zusammenwirkt derart, dass die Abrasivkörner (14) eine spanende Abtragung des Werkstücks (10) bewirken, und wobei zwischen dem Werkstück (10) und dem Sägewerkzeug (12) eine elektrische Spannung zum spannungsbasierten Abtragen des Werkstücks (10) angelegt wird. Durch das erfindungsgemäße Verfahren wird die Abtragrate erhöht und die Prozessdauer verringert.</p> |
