| 发明名称 |
AMMONIAKFREIE ALKALISCHE MIKROELEKTRONISCHE REINIGUNGSZUSAMMENSETZUNG MIT VERBESSERTER SUBSTRATVERTRÄGLICKEIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT545695(T) |
申请公布日期 |
2012.03.15 |
| 申请号 |
AT20020749817T |
申请日期 |
2002.07.08 |
| 申请人 |
AVANTOR PERFORMANCE MATERIALS, INC. |
发明人 |
HSU, CHIEN-PIN |
| 分类号 |
C11D7/32;C11D7/60;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/43;C11D7/26;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;C23G5/036;G03F7/42;H01L21/304 |
主分类号 |
C11D7/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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