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Eine abbildende Optik (9) für eine Projektionsbelichtungsanlage weise mindestens ein anamorph abbildendes optisches Element (M1 bis M6) auf. Dies ermöglicht eine vollständige Ausleuchtung eines Bildfeldes in einer ersten Richtung mit einer großen objektseitigen numerischen Apertur in dieser Richtung, ohne dass die Ausdehnung des abzubildenden Retikels vergrößert werden muss, und ohne dass es zu einer Verringerung des Durchsatzes der Projektionsbelichtungsanlage kommt. |
