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Vorrichtung zur Handhabung eines scheibenartigen Elementes, insbesondere Wafers (8), umfassend: einen Rahmen (10), der eine Handhabungs- und/oder Inspektionsstation umschließt, eine Robotereinrichtung (2, 3) zur Ausführung mindestens einer Winkelbewegung um die Theta-Achse des Roboters und einer Verschiebebewegung (R) in einer definierten Bewegungsebene relativ zu dem Rahmen (10), ein Handgelenkelement (4, 5), das von der Robotereinrichtung (2, 3) antreibbar ist und einen Neigungsmechanismus mit wenigstens einem angetriebenen Element (13) zum Neigen des scheibenartigen Elements (8) bildet, und ein Greifelement-Wirkorgan (6), das zum Halten des scheibenartigen Elements (8) ausgebildet ist und von dem Handgelenkelement (4, 5) so antreibbar ist, dass eine zu untersuchende Oberfläche des scheibenartigen Elements (8) in gewünschter Neigung dargeboten werden kann, dadurch gekennzeichnet, dass die vom Neigungsmechanismus dargebotene Neigungsachse in die zu untersuchende Oberfläche des scheibenartigen Elements (8) legbar ist, und dass das Greifelement-Wirkorgan (6) einen Drehantrieb des scheibenartigen Elements (8) um eine...
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