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发明名称
STRAHLUNGSERZEUGUNGSEINRICHTUNG, LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG, BAUELEMENTEHERSTELLUNGSVERFAHREN UND DADURCH HERGESTELLTES BAUELEMENT
摘要
申请公布号
AT547924(T)
申请公布日期
2012.03.15
申请号
AT20070747411T
申请日期
2007.04.27
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
IVANOV, VLADIMIR VITALEVITCH;BANINE, VADIM YEVGENYEVICH;KRIVTSUN, VLADIMIR MIHAILOVITCH
分类号
H05G2/00
主分类号
H05G2/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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