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发明名称 VORRICHTUNG ZUR PLASMAGESTÜTZTEN CHEMISCHEN OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON SUBSTRATEN IM VAKUUM
摘要
申请公布号 AT547543(T) 申请公布日期 2012.03.15
申请号 AT20070008718T 申请日期 2007.04.28
申请人 FORSCHUNGS- UND APPLIKATIONSLABOR PLASMATECHNIK GMBH DRESDEN 发明人 STAHR, FRANK;STEINKE, OLAFF;STEPHAN, ULF;SCHADE, KLAUS
分类号 C23C16/509;C03C17/00;C23C16/24;C23C16/455;C23C16/458;H01J37/32 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
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