用于关闭和开启处理腔室的装/卸开口的装置

摘要

本发明描述了一种用于关闭和开启处理腔室的装/卸口的装置，以及一种用于处理基板的包括相应的关闭装置的装置。该关闭装置包括具有可连接至流体源和/或真空源的进口和/或出口开口的管件，和具有用于容纳该管件的腔室的壳体，腔室在壳体中轴向延伸，以及横向于轴方向与腔室交叉的通道，该通道与装/卸口对准且该腔室具有圆形的横截面区域。进一步，提供固定元件，用于将该管件的一部分定位和固定在相对装/卸口的预定的位置。通过选择性地施加流体和/或真空进入该管件的内部空间，该管件在展开状态下阻塞装/卸口且在收缩状态下开启该装/卸口。用于处理基板的装置包括至少一个具有装/卸口和如上述类型关闭装置的处理腔室。

主权项

一种用于关闭和开启用于处理基板尤其是用于处理半导体基板的至少一个处理腔室的装/卸口的装置，该装置包括：具有可连接至流体源和/或真空源的至少一个进口和/或出口开口的至少一个管件，壳体，其具有用于容纳该管件的腔室，该腔室在该壳体中轴向延伸，以及在横向于轴向与该腔室交叉的通道，其中该通道与处理腔室的装/卸口对准且其中该腔室具有圆形的横截面区域；以及至少一个固定元件，用于将该管件的一部分定位和固定在相对于该处理腔室的装/卸口的一个预定的位置，其中通过选择性地施加流体和/或真空进入该管件，该管件能在展开状态和向所述固定部分方向收缩的收缩状态之间活动，其中该管件在展开状态下阻塞该处理腔室的该装/卸口，而在收缩状态下开启该处理腔室的该装/卸口。