发明名称 |
镀膜加工方法 |
摘要 |
一种镀膜加工方法,其包括以下步骤:提供一个工件,该工件具有一个待加工形成图案的第一表面;采用物理气相沉积法对该第一表面沉积一膜层;提供一个遮罩,该遮罩的形状与待形成的图案的形状相同,该遮罩与该工件可磁性相吸;将该遮罩吸附于该第一表面并遮蔽已镀膜的该第一表面的预定区域;利用磁力研磨去除该第一表面的该预定区域之外的膜层;去除该遮罩以于该工件的第一表面获得该图案。 |
申请公布号 |
CN102373407A |
申请公布日期 |
2012.03.14 |
申请号 |
CN201010258983.0 |
申请日期 |
2010.08.20 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
王仲培 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种镀膜加工方法,其包括以下步骤:提供一个工件,该工件具有一个待加工形成图案的第一表面;采用物理气相沉积法对该第一表面沉积一膜层;提供一遮罩,该遮罩的形状与待形成的图案的形状相同,该遮罩与该工件可磁性相吸;将该遮罩吸附于该第一表面并遮蔽已镀膜的该第一表面的预定区域;利用磁力研磨去除该第一表面的该预定区域之外的膜层;去除该遮罩以于该工件的第一表面获得该图案。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |