具有埋入式字元线的装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种具一存储单元的集成电路，包含一字元线、一位线以及一隔离层。该字元线系设置于一基板的一字元线沟槽内。该位线系设置于该字元线的下方的一位线沟槽内，且该位线的延伸方向正交于该字元线的延伸方向。以及，该隔离层用以隔离该字元线及该位线，设置于该位线的上方的该位线沟槽内。其中，该隔离层和该基板的蚀刻率相近。

主权项

一种集成电路，其特征在于，所述的电路包含：一垂直式晶体管，形成于一基板上，所述的垂直式晶体管包含一通道区，位在一下接面区及一上接面区之间；一字元线，设置于一字元线沟槽内，同时，相邻于所述的通道区；一位线，设置于所述的字元线的下方的一位线沟槽内，所述的位线沟槽位于所述的垂直式晶体管的下方；以及一隔离层，用以隔离所述的字元线及所述的位线，所述的隔离层设置于所述的位线的上方的所述的位线沟槽内；其中，所述的隔离层和所述的基板的蚀刻率相近。