镀膜装置及镀膜方法

摘要

本发明涉及一种镀膜装置，其包括依序相通的雾化腔、加热腔及镀膜腔。该镀膜腔设有喷嘴。该镀膜装置还包括挡板、与该挡板相连的驱动装置、控制装置及用于感测该加热腔内雾滴浓度的浓度传感器。该挡板可动地设于该加热腔或该镀膜腔内。该控制装置分别与该浓度传感器及驱动装置电气连接，用于储存该雾滴浓度的预定值，比较该预定值与该浓度传感器所感测的浓度值，并根据该比较结果控制该驱动装置驱动该挡板来隔绝该加热腔与该镀膜腔或移开该挡板来达成该加热腔与该镀膜腔相互连通。本发明还涉及一种镀膜方法。该镀膜方法可精确控制每次镀膜所用雾滴浓度处于预定值，从而提高镀层均匀性。

主权项

一种镀膜装置，包括依序连通的雾化腔、加热腔及镀膜腔，该镀膜腔设有喷嘴，其特征是，该镀膜装置还包括挡板、与该挡板相连的驱动装置、控制装置及用于感测该加热腔内雾滴浓度的浓度传感器，该挡板可动地设于该加热腔或该镀膜腔内，该控制装置分别与该浓度传感器及驱动装置电气连接，并用于储存该雾滴浓度的预定值，及比较该预定值与该浓度传感器所感测的浓度值，并根据该比较结果控制该驱动装置驱动该挡板来隔绝该加热腔与该镀膜腔或移开该挡板来达成该加热腔与该镀膜腔相互连通。