发明名称 |
半导体背面用膜、半导体背面用切割带集成膜、用于生产半导体器件的方法和半导体器件 |
摘要 |
本发明涉及倒装芯片型半导体背面用膜、半导体背面用切割带集成膜、用于生产半导体器件的方法和倒装芯片型半导体器件。本发明涉及一种倒装芯片型半导体背面用膜,其在倒装芯片连接至被粘物上的半导体元件背面上形成,其中热固化前的倒装芯片型半导体背面用膜在其热固化时,在23℃-165℃范围内的体积收缩率为100ppm/℃-400ppm/℃。 |
申请公布号 |
CN102376611A |
申请公布日期 |
2012.03.14 |
申请号 |
CN201110217098.2 |
申请日期 |
2011.07.28 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
河本裕介;高本尚英;志贺豪士;浅井文辉 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种倒装芯片型半导体背面用膜,其形成于倒装芯片连接至被粘物上的半导体元件的背面,其中热固化前的倒装芯片型半导体背面用膜在其热固化时,在23℃‑165℃范围内的体积收缩率为100ppm/℃‑400ppm/℃。 |
地址 |
日本大阪府 |