发明名称 半导体背面用膜、半导体背面用切割带集成膜、用于生产半导体器件的方法和半导体器件
摘要 本发明涉及倒装芯片型半导体背面用膜、半导体背面用切割带集成膜、用于生产半导体器件的方法和倒装芯片型半导体器件。本发明涉及一种倒装芯片型半导体背面用膜,其在倒装芯片连接至被粘物上的半导体元件背面上形成,其中热固化前的倒装芯片型半导体背面用膜在其热固化时,在23℃-165℃范围内的体积收缩率为100ppm/℃-400ppm/℃。
申请公布号 CN102376611A 申请公布日期 2012.03.14
申请号 CN201110217098.2 申请日期 2011.07.28
申请人 日东电工株式会社 发明人 河本裕介;高本尚英;志贺豪士;浅井文辉
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种倒装芯片型半导体背面用膜,其形成于倒装芯片连接至被粘物上的半导体元件的背面,其中热固化前的倒装芯片型半导体背面用膜在其热固化时,在23℃‑165℃范围内的体积收缩率为100ppm/℃‑400ppm/℃。
地址 日本大阪府