发明名称 USE OF MOLDED ELASTOMER COMPRISING CROSSLINKABLE FLUOROELASTOMER COMPOSITION FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1253172(B1) 申请公布日期 2012.03.14
申请号 EP20000970245 申请日期 2000.10.31
申请人 DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 发明人 HIGASHINO, KATSUHIKO;HASEGAWA, MASANORI;TANAKA, HIROYUKI;NOGUCHI, TSUYOSHI
分类号 C08L101/04;C08K3/22;H01L23/29 主分类号 C08L101/04
代理机构 代理人
主权项
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