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发明名称
摘要
申请公布号	JP4897029(B2)	申请公布日期	2012.03.14
申请号	JP20090256266	申请日期	2009.11.09
申请人		发明人
分类号	H01L29/78;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/092	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
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