窄表面波纹光栅

摘要

用于集成光学部件的窄表面波纹光栅及其制造方法。实施例包括具有比在其上形成了光栅的波导的宽度更窄的宽度的光栅。依照本发明的某些实施例，采用掩模光刻法形成具有期望的光栅强度的窄光栅。在实施例中，采用具有比所述波导的宽度更窄的宽度的反射器光栅来形成激光器的光共振腔。在另一实施例中，集成光学通信系统包括一个或多个窄表面波纹光栅。

主权项

一种光子设备，包括：在基底之上的第一和第二无源半导体波导区，和在所述第一与第二无源波导区之间耦合的消逝半导体波导区，其中所述无源或消逝波导区中的一个包括第一布拉格反射器，所述第一布拉格反射器包括具有比在其中形成了所述光栅的所述波导区的宽度更窄的宽度的表面波纹光栅。