发明名称 |
用于金属颗粒去除的模块和工艺 |
摘要 |
一种用于金属颗粒去除的模块和工艺。本发明的实施方式提供了一种处理太阳能电池器件的装置和方法。在一个实施方式中,所述方法通过清洗模块从太阳能电池器件的边缘区域去除颗粒,所述太阳能电池器件的背面上被施加有恒定负载,其中清洗模块具有二或更多个辊型刷,所述辊型刷设置在旋转台相对侧上,所述旋转台位于质量保证设备之前和/或之后,所述质量保证设备被配置成检测和校正在太阳能电池器件中的缺陷,和传送太阳能电池器件至边缘消除设备中,在边缘消除设备中,使用电磁辐射能自太阳能电池器件的顶面去除材料。所述辊型刷包括非研磨硬毛,所述非研磨硬毛被配置成在将太阳能电池器件传送到边缘消除设备之前,从太阳能电池器件的周边区域去除不希望的材料。 |
申请公布号 |
CN102376823A |
申请公布日期 |
2012.03.14 |
申请号 |
CN201110225379.2 |
申请日期 |
2011.08.03 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
奥弗·卡达尔;奥弗·埃米尔;巴布·钦纳萨米 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;B08B1/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国 |
主权项 |
一种处理太阳能电池器件的方法,所述方法包括:通过清洗模块从太阳能电池器件的边缘区域去除颗粒,所述太阳能电池器件的背面上被施加有恒定负载,其中所述清洗模块具有二或更多个辊型刷,所述辊型刷设置在旋转台的相对侧上,所述旋转台位于质量保证设备之前和/或之后,所述质量保证设备被配置成检测和校正太阳能电池器件中的缺陷;以及将太阳能电池器件传送到边缘消除设备中,在所述边缘消除设备中,使用电磁辐射能自太阳能电池器件的顶面去除材料。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |