发明名称 用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置
摘要 本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,该限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块两侧都装有缓冲器或橡胶垫。本实用新型的有益效果是:限位装置的改进降低了设备的故障率,减少了维修费用。
申请公布号 CN202162123U 申请公布日期 2012.03.14
申请号 CN201120232512.2 申请日期 2011.07.04
申请人 常州天合光能有限公司 发明人 应建平;刘平;朱正春
分类号 B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;B05B13/02(2006.01)I 主分类号 B05C13/02(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 王凌霄
主权项 一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,其特征是:所述的限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块(13)两侧都装有缓冲器或橡胶垫(14)。
地址 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号