发明名称 | 用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,该限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块两侧都装有缓冲器或橡胶垫。本实用新型的有益效果是:限位装置的改进降低了设备的故障率,减少了维修费用。 | ||
申请公布号 | CN202162123U | 申请公布日期 | 2012.03.14 |
申请号 | CN201120232512.2 | 申请日期 | 2011.07.04 |
申请人 | 常州天合光能有限公司 | 发明人 | 应建平;刘平;朱正春 |
分类号 | B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;B05B13/02(2006.01)I | 主分类号 | B05C13/02(2006.01)I |
代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 王凌霄 |
主权项 | 一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置,其特征是:所述的限位装置为凸块撞击限位装置,在凸块撞击限位装置的限位凸块(13)两侧都装有缓冲器或橡胶垫(14)。 | ||
地址 | 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |