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经营范围
发明名称
Method of manufacturing polycrystalline silicon rod
摘要
申请公布号
EP2145858(B1)
申请公布日期
2012.03.14
申请号
EP20090004489
申请日期
2009.03.27
申请人
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人
MIZUNO, MICHIHIRO;KUROTANI, SHINICHI;NETSU, SHIGEYOSHI;OGURO, KYOJI
分类号
C01B33/03;C01B33/035
主分类号
C01B33/03
代理机构
代理人
主权项
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