| 发明名称 | 具有微波能输送装置的微波等离子体源 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微波等离子体源，其具有微波能输送装置，所述微波能输送装置用于将微波能从微波供应器(1)经由波导过渡接头和同轴导体系统输送到保护管(3)内部的内导体(2)，所述保护管设置在真空室(4)内部并且相对于大气密封。所述内导体(2)和保护管(3)终结并保持在真空室(4)的真空侧的平面内；有在一边无电位地接地的波导过渡接头；在内导体(2)的轴向上设置作为同轴内导体的导管(8)，所述导管沿轴向在同轴外导体(6)内部延伸直到真空室(4)的真空侧的平面；并且在导管(8)内部设置可移动的导体棒(18)，使得导体棒能与内导体(2)接触。 | ||
| 申请公布号 | CN102378463A | 申请公布日期 | 2012.03.14 |
| 申请号 | CN201110294000.3 | 申请日期 | 2011.07.20 |
| 申请人 | 德国罗特·劳股份有限公司 | 发明人 | J·马伊;H·梅利希;P·沃尔夫;H·施勒姆 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 董华林 |
| 主权项 | 微波等离子体源，其具有微波能输送装置，所述微波能输送装置用于将微波能从微波供应器(1)经由波导过渡接头和同轴导体系统输送到保护管(3)内部的内导体(2)，该保护管设置在真空室(4)内部并且相对于大气密封，其特征在于，所述内导体(2)和保护管(3)终结且保持在真空室(4)的真空侧的平面内；有在一边无电位地接地的波导过渡接头；在内导体(2)的轴向上设置作为同轴内导体的导管(8)，所述导管沿轴向在同轴外导体(6)内部延伸直到真空室(4)的真空侧的平面；并且在导管(8)内部设置可移动的导体棒(18)，使得导体棒能与内导体(2)接触。 | ||
| 地址 | 德国霍恩施泰因-恩斯塔尔 | ||