一种能消除应力的发光二极管结构

摘要

一种能消除应力的发光二极管结构，涉及光电技术领域。本实用新型包括蓝宝石衬底和置于蓝宝石衬底上的外延层。其结构特点是，所述蓝宝石衬底内部形成有纵横交错的切割划痕。同现有技术相比，本实用新型能减小GaN基LED材料外延生长过程中产生的应力，提高GaN基LED外延材料的均匀性和GaN基LED芯片的产出良率，有利于外延衬底尺寸的进一步扩大。

主权项

一种能消除应力的发光二极管结构，它包括蓝宝石衬底(21)和置于蓝宝石衬底(21)上的外延层(22)，其特征在于，所述蓝宝石衬底(21)内部形成有纵横交错的切割划痕(23)。