一种工作台位置测量系统

摘要

本发明提供了一种工作台位置测量系统包括：镜头、主基板、承片台、大理石、至少一光栅尺组、以及与该光栅尺组相对应的至少一读头组，该镜头固定在主基板上，读头组合成一读头集，且该读头集安装在主基板上，光栅尺组固定在承片台的四周，承片台安装在大理石上并在大理石表面运动，读头组通过读头组与光栅尺组的相对运动读取运动信息，通过镜头采集该读头集的读数，得到该承片台在大理石表面的运动信息。该工作台位置测量系统，可稳定有效而且高精度的测量工作台的运动，工作台位置测量系统集成度较高，相对独立和完整，受其他分系统维修维护的影响较小。

主权项

一种工作台位置测量系统，其特征在于，所述工作台位置测量系统包括：一镜头、一主基板、一承片台、一大理石、至少一光栅尺组、以及与该光栅尺组相对应的至少一读头组，所述镜头固定在所述主基板上，并且镜头靠近所述光栅尺组的一端内陷于所述主基板，镜头远离所述光栅尺组的一端外露于所述主基板，所述读头组合成一读头集，所述读头集安装在主基板上，所述光栅尺组固定在所述承片台的四周，所述承片台安装在所述大理石上并在所述大理石表面运动。