| 发明名称 | 被处理体的冷却方法和被处理体处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种冷却被处理体的冷却方法。该冷却方法包括：将加热状态的被处理体载置于载物台上的工序；和向包含载置于载物台上的被处理体中心的中心附近区域喷射冷却气体来冷却被处理体的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN102379035A | 申请公布日期 | 2012.03.14 |
| 申请号 | CN201080015119.6 | 申请日期 | 2010.03.30 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 多田宪伦;堀内孝 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种被处理体的冷却方法，其对被处理体进行冷却，该冷却方法的特征在于，具备：将加热状态的被处理体载置于载物台上的工序；和冷却工序，向包含载置于所述载物台上的所述被处理体的中心的中心附近区域喷射冷却气体，冷却所述被处理体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||