发明名称 压力测定器
摘要 本发明提供一种能够准确测定压力的压力测定器。该压力测定器具备:承受压力的挠性膜(1);用于固定挠性膜(1)底面为圆形的凸部(12)的台座(2);以及与凸部(12)的圆形的底面接合的图1所示的固定部件(3)。挠性膜(1)可以由硅构成,将(100)面作为主面。此外,挠性膜(1)被配置成由设置有凹部(23)的硅基板(21)和设有凹部(24)的硅基板(22)所夹持。因此,挠性膜(1)隔着硅基板(22)被固定于台座(2)。
申请公布号 CN102374912A 申请公布日期 2012.03.14
申请号 CN201110181429.1 申请日期 2011.06.27
申请人 株式会社山武 发明人 德田智久;住吉雄一朗
分类号 G01L1/22(2006.01)I 主分类号 G01L1/22(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 李伟;王轶
主权项 一种压力测定器,其特征在于,具备:挠性膜,该挠性膜承受压力;台座,该台座固定上述挠性膜,并且设有底面为圆形的凸部;以及固定部件,该固定部件与上述凸部的圆形的底面接合。
地址 日本东京都