发明名称 | 压力测定器 | ||
摘要 | 本发明提供一种能够准确测定压力的压力测定器。该压力测定器具备:承受压力的挠性膜(1);用于固定挠性膜(1)底面为圆形的凸部(12)的台座(2);以及与凸部(12)的圆形的底面接合的图1所示的固定部件(3)。挠性膜(1)可以由硅构成,将(100)面作为主面。此外,挠性膜(1)被配置成由设置有凹部(23)的硅基板(21)和设有凹部(24)的硅基板(22)所夹持。因此,挠性膜(1)隔着硅基板(22)被固定于台座(2)。 | ||
申请公布号 | CN102374912A | 申请公布日期 | 2012.03.14 |
申请号 | CN201110181429.1 | 申请日期 | 2011.06.27 |
申请人 | 株式会社山武 | 发明人 | 德田智久;住吉雄一朗 |
分类号 | G01L1/22(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/22(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李伟;王轶 |
主权项 | 一种压力测定器,其特征在于,具备:挠性膜,该挠性膜承受压力;台座,该台座固定上述挠性膜,并且设有底面为圆形的凸部;以及固定部件,该固定部件与上述凸部的圆形的底面接合。 | ||
地址 | 日本东京都 |