纪念币模具表面制备氮化钽涂层的工艺方法

摘要

本发明涉及一种纪念币模具表面制备氮化钽涂层的工艺方法，属于纪念币模具表面强化延寿技术。其工艺步骤为：①对模具进行氮等离子体基离子注入表面处理；②通过加热将模具温度升至200-300℃之间；③采用磁控溅射在模具表面沉积一层钽膜；④对钽膜进行氮等离子体基离子注入处理，形成氮化钽层；⑤反复进行步骤③和④直至获得预定厚度的氮化钽涂层。本发明具有生产过程无污染排放，不改变模具表面光洁度、尺寸精度和可以低温沉积的优点。并且延长了模具的使用寿命，提高了模具的生产效率。

主权项

纪念币模具表面制备氮化钽涂层的工艺方法，其特征在于包括下述步骤：①对模具进行氮等离子体基离子注入表面处理，采用气体为纯度99.999％高纯氮气，用射频激发氮等离子体，注入电压为60kV，注入剂量为3×1017‑5×1017离子/cm2；②将上述表面处理过的模具进行加热，使模具温度升至200‑300℃；③对上述升温后的模具，采用磁控溅射在模具表面沉积一层厚度为30‑100nm钽膜；④对上述钽膜进行等离子体基离子注入处理，形成氮化钽层，注入电压为45‑60kV，注入剂量为0.5×1017‑1×1017离子/cm2；⑤反复进行上述步骤③和步骤④，直至获得厚度为1‑2μm的氮化钽涂层。